台積電1.4奈米廠將動工！外媒曝不用ASML「最新曝光機」原因 研發靠一招土法煉鋼
台積電將於2025年底啟動2奈米製程量產，同時也持續往更先進的1.4奈米邁進，根據科技媒體《Wccftech》報導，台積電將在台灣本地展開1.4奈米生產線的初步建設，但值得注意的是，其不打算採用艾司摩爾（ASML）最新的高數值孔徑極紫外光（High-NA EUV）曝光機，讓台積電在研發A14時，必須不斷採行試錯法來改進製程。
報導指出，台積電計畫於今年底在台中動工興建1.4奈米新廠，預計2028年下半年實現量產，與先前外界推測的時程一致，同時A14製程也可望讓晶片功耗再降低30%。目前台中廠已開始招募人力，3棟廠房的建照也已於8月核發，初期投資金額可能高達490億美元（1.5兆新台幣），其中有相當一部分，將用於在2027年採購約30台EUV曝光機。
報導提到，科技分析師Dan Nystedt在X透露，台積電不會購買ASML的High-NA EUV曝光機，原因在於這些機台售價昂貴，單價高達4億美元。台積電日前也曾表示，現有EUV設備已足以支援1.4奈米量產。
報導分析，台積電可能會採用複雜的多重曝光（multi-patterning）技術，來達成1.4奈米的製程目標，不過這種替代方案的缺點在於製程複雜、耗時且初期良率較低，讓台積電可能需要不斷透過「試錯法」，來逐步改善A14製程。
報導表示，這種方法與中芯開發5奈米製程採用的方式類似，但台積電與中芯不同的是，台積電擁有成熟的EUV設備與技術經驗，且距離量產仍有數年的準備時間，可望持續優化製程，鞏固其在全球半導體產業的領先地位。
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