在半、生技、光中,室是保品品的第一道防。然而,如何明境真的符合?就是 ISO 14644-1室 器的值所在。透化的,企能以科室,避免感或判而埋下。
ISO 14644-1室的意
ISO 14644-1 是一套「空中浮微粒量」行分的,它定了不同等室中,每立方公尺空允存在的微粒。
以半例,程中的光刻步境度要求高,即使是小於 0.5 微米的粒子也可能致晶缺陷。因此,若法依照 ISO 14644-1 行,就以保最品的可靠性。
品造而言,符合更是乎安全法合,因品若受到污染,影的不是品良率,而是直接危及病患健康。
Lighthouse 的角色
在上,室的等判定需要依靠精密器。Lighthouse 粒子器正是常的解方案之一。
器能持空中的浮粒子,即提供不同粒的,例如 0.3 微米、0.5 微米或 5 微米的粒子量。透比 ISO 14644-1 的分,便能迅速室是否合乎。
除了次外,Lighthouse 也可整合控系,行的,助房即掌握常,快速排查污染源。
流程:建置到日常
上,室的不只在新建完成才需要,日常同重要。一般流程包括:
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新建:室建造完成後,需依照 ISO 14644-1室 行初次,是否到等。
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定期:著人出,空品可能逐下降,因此需定期行粒子量。
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常排查:若常,需透粒子器行定位,找出污染源,保程不中。
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持:部分高甚至行,保生程始在受控境中。
用景案例
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半:在光程,Lighthouse 可即空品,避免奈米污染粒致晶。
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生技:品生域需保菌件,透定期依 ISO 14644-1 ,保境符合。
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光:LCD 面板程埃敏感,任何微小粒都可能造成亮或,因此必期依靠粒子器品。
室的值,不在於建造的,更在於持科。ISO 14644-1室 全球提供一致的衡量依,而像 Lighthouse ,是保能落的工具。透的重保障,企才能在高度的中,期持定的品信任。
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